高純系統(tǒng)質(zhì)量保障的核心在于從設(shè)計(jì)、制造到測(cè)試驗(yàn)證的全過程微污染控制技術(shù)及全過程可追溯的質(zhì)量管理體系建設(shè)。依托超高純流體輸送系統(tǒng)近20年的經(jīng)驗(yàn)及高純工藝系統(tǒng)微污染控制技術(shù)，流體系統(tǒng)設(shè)計(jì)與模擬仿真技術(shù)，正帆科技能夠?yàn)榭蛻籼峁└黝惗ㄖ苹黧w設(shè)備，包括高純度液態(tài)源輸送設(shè)備(LDS)，大流量精密控制的液態(tài)源蒸發(fā)設(shè)備等。
