超高純氣體輸送設備是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管以及光伏、光纖等泛半導體行業(yè)中關(guān)鍵的廠務設備之一。
正帆科技在高純氣體供應系統(tǒng)領(lǐng)域深耕多年，在泛半導體產(chǎn)業(yè)的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關(guān)鍵制程為客戶提供完整的氣體供應設備設計與制造的解決方案。正帆科技制造的氣體設備均經(jīng)過SEMI S2認證。
通過使用高潔凈度的部件，在可控的環(huán)境中以超高純施工工藝加工操作，以確保系統(tǒng)對氣體的二次污染被控制在PPB級別
以必要的安全裝備與控制系統(tǒng)來預防及緊急應對氣體意外泄漏帶來的危險
通過優(yōu)化的系統(tǒng)設計和嚴格的制造過程控制，確保設備能夠持續(xù)不間斷地以穩(wěn)定的壓力和流量輸送氣體
